通过分析真空微波器件和排气台经常出现的高温（550℃）漏气的现象,发现现有排气台烘箱测温系统存在问题。从理论上对这一问题进行了分析,并在实验上验证了这一分析。理论和实验表明,随着温度的升高,现有排气台烘箱显示温度与真实温度相差增大。真实温度比最高显示温度高71℃。解决了困扰微波管排气工艺过程中高温漏气的难题。

某大型风洞试验气体温度高、流量大,对真空排气设备要求高,传统风洞用真空排气设备无法满足要求,为达到减小规模、降低成本的目的,首次将大排量、高转速离心真空泵应用于风洞试验设备。本文根据风洞试验排气要求,对离心真空泵的气动结构进行了设计。利用三维数值模拟软件对离心真空泵内部流动情况进行了模拟分析,为了充分考虑离心真空泵内部流动的非对称性,对离心真空泵转子的气体流动特性进行了全通道模拟分析。结果表明,设计出的离心泵流量、极限真空度等各项指标均达到设计要求,并在试验台测试和风洞实测中得到性能验证,较好的完成风洞试验的真空排气保障工作,离心真空泵的设计和应用取得圆满成功。