CCD相关跟踪器被应用在恒星光干涉仪中，实现了干涉仪两相干光束平行性的高精度探测与控制，该文描述其数学基础，基本结构，组成，相关处理方法及其应用成果。

利用波前方向校正技术实现两相干光束的平行性控制，进而保证干涉条纹可见度损失最小，是恒星光干涉仪中的关键技术之一。进行了波前方向校正系统的原理分析和设计探讨，详细讨论了该系统中的８０９８控制单元、高压驱动电源、摆镜结构设计及电压陶瓷堆（ＰＺＴ）的驱动机理，并介绍了用干测试摆镜响应频率等参数的高速ＣＣＤ相关检测法。