信号处理电路及反馈控制电路能极大的提高隧道加速度计的灵敏度和分辨率，但工作在闭环状态存在明显的零点漂移，需要进一步在结构设计和电路设计上进行改进。在分析静电驱动力和反馈力的基础上，提出了一种动态补偿零点漂移的方法，它通过拟舍其零点漂移趋势来调整反馈电路的反馈参数。此方法相对简单，且能有效改善漂移现象，不致于输出饱和，使其能长时间工作。