研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试.EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14 μm,像元数2 048×2 048.在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19 μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm.

本文详细描述了ＭＣＰ在ＳＥＭ中的应用，论述了具体接收器的结构和放大系统的结构性能，给出一系列实验参数及图像的对比结果，证明了ＭＣＰ接收器完全可以在ＳＥＭ中高效可靠性替代原有的接收器。