传统的清洗方法及设备由于水溶液的表面张力大，很难有效清洗精密零部件的微孔及狭缝中的污物，且干燥过程复杂，以超声波辅助超临界CO2清洗可以克服上述缺点。超临界CO2具有表面张力小、快速移动能力，高溶解性、强扩散性、不添加化学试剂、循环利用的特性，在精密零部件的微孔及狭缝清洗中有良好的应用前景。提出了一种超声波辅助超临界CO2清洗精密零部件设备，包括筒体、内夹套、超声波换能器、料框、磁力驱动装置、封头、快开结构．该设备可同时实现超临界CO2、超声波振荡及零部件旋转清洗，为精密零部件的无水精密清洗提供了可能。

为了提高航天航空精密零部件加工设备的可靠性、安全性,缩短研制周期,提出了一种实时监测精密零部件加工过程产生裂纹的方法,并根据此方法,研制了一台基于TI公司最新浮点数字信号处理器—TMS320F28335的精密零部件裂纹实时监测仪的样机。考虑在线实时监测的需要,采用了基于声发射（AE）技术的方案。介绍了裂纹实时监测方法的总体方案及其相应系统的硬件组成,描述了数字信号处理算法,并对裂纹实时监测仪样机进行了试验验证。试验结果显示,研制的样机能达到无漏检,误检率为1.2%,验证了本文所提方法的有效性。