微振对精密测量设备的测量精度有很大的影响。文中针对一种大型精密测量设备进行微振研究。依据惯性测量原理，对运行中的设备进行微振测试。根据微振测试结果得出设备的谐振点、启停的振荡时长、微振的位移振幅以及不同微振源对精度的影响程度等，并给出解决谐振问题的具体措施。微振研究结果对同类产品的设计具有指导意义。

对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提.以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测.在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度.用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位.