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含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定

作者: 杨进堂 来源:光学精密工程 日期: 2024-08-16 人气:14
含有中周期误差的圆光栅刻划误差的评定
介绍了圆光栅的中周期误差产生的主要原因,检测方法以及评定带有中周期误差的圆光栅刻划的两种方法。

含有中周期误差的圆分度件刻划误差的评定方法

作者: 杨进堂 来源:计量技术 日期: 2024-07-01 人气:25
含有中周期误差的圆分度件刻划误差的评定方法
本文阐述了圆分度件中周期误差产生的主要原因,在其检测方法的基础上介绍了含有中周期误差的圆分度件刻划误差的两种评定方法。
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