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> 光纤点衍射干涉仪
光纤点衍射干涉仪调整方法与条纹分析
作者:
曹晓君
张学军
李艳红
来源:
光机电信息
日期: 2024-03-26
人气:11
随着对高精度光学元件的需求不断增加,对光学检测精度的要求也随之提高,合理可行的检测方法对光学加工的发展至关重要.本文在已建立好的点衍射干涉仪的基础上,对仪器的调整进行分析,提出合理的调整方案,得出被检波面面形的干涉图.该干涉仪由光纤直接提供高精度的参考波面,与被检波波面发生干涉.其特点是结构简单合理、易于调整耦合输出、条纹记录迅速、受外界环境影响较低、引入误差较小,有利于进一步的拟合分析.
关键词:
光纤点衍射干涉仪
调整方法
条纹分析
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