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基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化

作者: 隆志力 韩雷 祝孟鹏 张亮亮 来源:中国机械工程 日期: 2024-07-25 人气:3
基于频率灵敏度方法的超声键合换能器结构优化
针对超声换能器设计上存在的双共振峰或多共振峰等常见问题,提出了一种基于频率灵敏度方法的换能器结构优化设计方法。以芯片键合超声换能器为例,采用模态频率灵敏度的方法,通过最小量地修正变幅杆的直径,实现轴向工作频率与其他非工作频率的分离,有效地抑制了工作频率附近杂散的非工作模态对自身模态的干扰,确保在工作状态下换能器被驱动在单一的工作频率,从而提高了超声能量输出的稳定性。
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