模具的磨损消耗对计算机控制光学表面的抛光工艺影响甚大，但在实际加工中不利于将工艺中断来重新调整加工的零点以对模具的磨损进行补偿。因此本文提出了一个指数形式 的模具磨损函数，并依此对Preston方程进行了修正，达到了实时补偿模具磨损的目的。通过实验确定了该函数磨损时间常数值并将该方法用于计算机控制的抛光和误差修正。实验证明，采用该方法进一步提高了计算机控制光学表面成形工艺的模型精度。

能动磨盘在光学抛光时随磨盘移动位置和旋转角度不同而产生不同的变形以实时与大口径被抛光工件表面实现良好的吻合。模拟了能动磨盘的工作过程，探讨了用于光学抛光的可行性。以加工直径1．5m,f1/2的抛物面光学元件为例，用有限元法对能动磨盘能够产生的变形进行了仿真计算，结果表明能动盘能够以较高精度产生旋转对称或非对称的二次曲面。