本文介绍了大型分析仪器--电子探针的组成、基本分析原理以及仪器的改进方法;提出了利用CPLD器件实现分频、步进电机脉冲分配、脉冲寄存、信号的多路选择设计理念;介绍了电子探针波谱仪计算机控制系统所涉及的控制软件和应用软件设计的理论依据.

如何用计算机控制现代仅器，已成为一个越来越重要的课题。本文介绍了我们自行研制的微机控制光谱仪扫描和数据信息来统的设计思怒、技术手段和功能指标。由于采用了一系列的新思想和新方法，本系统不仅可替代原有系统正常工作，而且功能更强大、使用更方便。

从理论上证明了可变入射距离的平焦场软Ｘ射线谱仪设计的可行性。对于标称栅距σ０＝（１／１２００）ｍｍ和象差修正项Ｍ２０＝－２０／Ｒ，Ｒ分别为５６４９和６０００ｍｍ的光栅，对不同的入射距离，计算出与平焦场相对应的入射角和成象距离，使一定波长范围内的光谱可以被聚焦在一个平面上，从而提高了变栅距光栅使用的灵活性。同时可通过取消谱仪中入射狭缝，使谱仪的光通量提高约１个量级。

测量了波长２．８４７，３．３７３，４．０２７，９．８７３和１０．２４ｎｍ谱线的一级和高级次光谱强度。给出了以一级光谱强度为标准的高级次衍射光谱的相对效率，并对测量结果进行了分析，讨论。