本文介绍采用线阵CCD的激光衍射测径系统.该系统中CCD视频信号被逐位进行模/数转换,变为相应的数字量.利用最小二乘法对衍射图样进行局部曲线拟合,确定暗纹间距S.因而,衍射测径的精度不再受CCD象元中心距大小的限制.