通过分析影响高功率固体激光装置中大口径光学元件稳定性的热激励源及其作用过程，指出日照瞬态温度、室内HAVC（Air Conditioning）系统以及局域瞬态热源是影响光学元件稳定性的主要因素；给出了大口径光学元件热影响的数学描述，并应用分析软件进行了初步计算．分析结果表明，热激励对光学镜片的影响不是靠简单的热载荷的单一作用过程，而是通过流动和传热的相互耦合，以及中间过程的转换，最终对光学镜片产生作用．因此，控制室内暖通空调系统的波动范围、减小镜箱内部温度变化、选用受热变形均匀和抗温度变形的镜片材料、减小温度引起的镜架热膨胀等是减小热激励影响的有效措施．

在高功率固体激光装置要求的所有平面透射光学元件中,熔石英材料的屏蔽片是光学冷加工难度最高的元件之一,加工要求为单次透射波前畸变为λ/6(λ=632.8 nm).其外形尺寸径厚比大于301,远远超出普通光学元件径厚比小于101的要求.由于径厚比大,所以光学元件在加工和测量的过程中很容易受到重力、装夹力等的影响而变形,影响加工和检测的精度.介绍了采用新兴的数控加工技术有效的避免了加工过程中各种装夹力、重力对面型的影响;通过优化参数,加工效率也得到了有效的提高.