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> 多面本
用多面体测试分度误差研究
作者:
曹向群
金彤
来源:
光学技术
日期: 2023-04-28
人气:4
采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差,比较了12、36、72面体的测试特点,人数据分析中可找一到一些造成误差的因素。
关键词:
多面本
分度误差
测试
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