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用多面体测试分度误差研究

作者: 曹向群 金彤 来源:光学技术 日期: 2023-04-28 人气:4
用多面体测试分度误差研究
采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差,比较了12、36、72面体的测试特点,人数据分析中可找一到一些造成误差的因素。
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