数字剪切波面干涉技术广泛用于波面测量和光学零件参数的检测中.本文介绍了数字剪切波面干涉技术的测量原理和一般处理算法,提出了基于待定系数法的一维剪切波面重建算法,对模拟的剪切干涉图和激光波面进行实例分析,表明所用方法具有较好的处理精度和实用价值.

讨论了光学件波面检测中,采用功率谱密度(PSD)作为重要评价参数的原因、相关的国际标准、PSD计算方法及PSD结果的评价准则等.虽然所进行的讨论主要是针对高功率激光系统中的光学元件检测,但对于其它应用领域的检测也是有借鉴意义的.