为实现微细电化学加工间隙的精确控制,达到稳定间隙乃至恒间隙加工,对加工间隙进行建模,提出并实现一种微细电化学加工进给自适应控制系统。采用嵌入式控制器结合专用集成电路的控制结构,设计软硬件实现间隙控制系统与加工实验装置,分别利用酸、碱电解液进行加工实验,实现了400、600μm的微小孔。实验结果表明设计的微细加工自适应控制系统与实验装置能够保证稳定加工间隙,满足微细加工工艺要求。