采用高速精密数控机床定位精度实验数据建立定位误差线性模型,再根据灰色模型和柯西问题公式建立定位误差非线性数学模型,用模糊综合评判法对两种模型进行二次评判,得出最优的预测模型,并用选取的定位误差补偿模型对机床定位误差进行补偿。补偿后,定位误差的0.95的置信区间上下限小于3μm,结果满足机床的设计使用要求。