光电自准直仪是检测角度、直线度、平面度的常用精密仪器,其测量距离受到空气扰动、自准直仪光源强度、自准直仪接收口径的影响,通常工作距都在10m以内,无法实现对超长导轨和平台的检测。本文提出一种量程拼接测量方法,可以在不增加自准直仪接收口径和光源强度的情况下,实现超长导轨和平台的高精度测量。

针对精密离心机动态失准角测量中存在的问题,提出以双轴光电自准直仪为核心测量仪器的失准角测量方法,在测量系统中采用真空光路屏蔽技术,减少了由于测量环境空气扰动带来的误差.对组成测量系统的各环节进行了误差分析与设计,理论分析与实验表明系统测量不确定度可达到0.2″.

为了实现对长导轨的直线度精密测量,完成了静压长导轨的设计,并采用光电自准直仪对长导轨精密加工中进行了测量、检验;进行了长导轨各段的三次实测数据和直线度计算,对同类工程测量具有一定的指导意义。

主轴回转轴线间的垂直度是各种精密转台（惯导测试设备）的机械台体综合检测中的一项重要指标，它的精度要求很高。例如：我们单位研制的国有重点科研项目Ｃ－１３９三轴精密转台，其内框与中框回转轴线间的垂直度及中框与外框回转轴线间的垂直度均要求小于１″。因此对其...

自准直仪示值误差是通过在小角度检查仪的指示计下放置相应尺寸的量块，产生相应的标准角度．由被检自准直仪依次瞄准读数，各受检点对零位的读数差与标准角度之差，即为各受检点的示值误差。下面以分度值为1”的光电自准直仪为例．对自准直仪示值误差测量结果不确定度进行分析。

分析了惯性导航用精密离心机动态失准角测量中存在的问题，提出以双轴光电自准直仪为核心测量仪器的失准角测量系统，在测量系统中采用真空光路进行光路气流屏蔽，减少了由于空气扰动带来的误差。对构成测量系统的各环节进行了误差分析与设计，理论分析与台面实验表明系统测量精度可达到0．2″。

利用面阵图像传感器，提出自动瞄准读式光电自准直仪的设计方案，从工作原理、硬件以及软件三方面阐述该系统的设计方案和实现方法。通过面阵图像传感器（CCD或CMOS）实现精确的二维测量，选用Blackfin系列DSP嵌入式内核处理器BF549，实现对图像数据的采集、存储和计算，利用液晶显示屏实时显示处理结果。利用帧间差分法和背景差分法相结合的算法检测静态背景下的运动目标，确定当前运动点的位置，计算出角位移结果并实时显示。

利用红光点状光斑半导体激光器作为光源，二维位置敏感器件（PSD）为光电接收器件的自准直仪，用于对空间两平板的相对小角度形变进行测量。测量装置改进了传统机械式自准直仪的瞄准和读数系统，处理电路采用C8051F060单片机为核心器件对传感器输出信号进行处理，通过单片机串口将采集的数据传输给计算机。VB编写的操作界面使得读数及控制十分方便。系统具有结构简单，实时性好，测量准确度高的优点。在5′的测量范围内测量精度优于3″。

在上海同步辐射装置软X射线谱学显微光束线站建设中，为达到变包含角平面光栅单色仪的能量分辨率要求，平面镜和光栅的转角重复精度必须要求达到0．43″。为此我们建立了一套由光电自准直仪组成的测试系统，可以对平面镜和光栅机构进行测试。应用该系统测试了平面镜转角重复精度为0．166″，光栅转角重复精度为0．149″，分辨率达到0．03″，满足了平面镜和光栅的转角重复精度和分辨率要求。此外，还测量了光栅切换机构的重复精度。

简单概述了基于PSD的光电自准直仪的工作原理,并分析了可能产生的误差原因。