介绍了一种用ZnO薄膜作为压电层的硅微压电式超声换能器（PMUT）．该硅微压电换能器的振动基膜采用LPCVD制作的氮化硅薄膜和PECVD制作的二氧化硅形成的复合振动膜结构．文中运用有限元方法对该硅微压电换能器的结构进行了模拟和计算，并进行了预应力对硅微换能器共振频率的影响的分析．实验测得硅微压电式换能器的共振频率为71．36kHz．本文还使用该硅微超声换能器在油中进行了初步的共振频率点收发信号的实验，接收实验测得信号峰峰值为9mV左右，发射实验标准水听器接收信号峰峰值为0．8mV左右．

立式屏蔽泵的轴系振动是影响屏蔽泵使用寿命的关键因素。以立式屏蔽泵为研究对象,在考虑了间隙环流、高温高压等影响因素后,建立了立式屏蔽泵轴系的三维模型,并通过有限单元法对其进行预应力分析和模态分析,得出了立式屏蔽泵在不同的轴向力作用下的最大变形点和最大受力点,并提取了模态分析的前6阶分析结果,计算了立式屏蔽泵的前6阶三维模态振型;以及通过立式屏蔽泵的前6阶三维模态振型,得出了前6阶振动时可能对立式屏蔽泵轴系的影响。以上的研究结果对立式屏蔽泵的设计和研究具有指导作用。