基于带通滤光片的平面工件面形干涉测量方法

简介

针对目前工业领域对平面零件面形低成本测量需求,提出了一种基于带通滤光片的干涉测量方法。该方法根据分振幅干涉的原理,使用两个中心波长相差10 nm的滤光片分别放置在工业摄像头上,拍摄两组准单色光干涉图样,通过对比处理实现干涉条纹级数排序。然后使用Zernike多项式对完成排序的干涉图样进行拟合,获得环形工件面形,最后应用最小二乘法摆正,获得所测工件的面形精度信息。通过理论分析及实测对比验证了该方法的可行性。