基于PSD的超精密小型机床几何误差测量系统

简介

机床的几何误差对工件的加工质量影响很大,在使用过程中必须加以分析和校正。针对小型机床几何误差测量难、测量工序复杂且效率低的问题,开发了由PSD组成的六自由度几何误差测量系统,提出一种通过扩展可测量距离和降低安装误差来测量6个自由度几何误差的方法,推导了测量系统的误差估计算法,仿真研究了高阶误差项消除对误差估计算法精度的影响和安装误差导致测量系统精度下降的程度,并通过灵敏度分析和实验,证明了该测量系统的准确性,具有一定的参考应用价值。