低摆动瞬心式抛光头

作者：戴智弘来源：机械工程师日期：2020-11-17 人气：

关键词：抛光头平面度瞬心 CMP

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针对典型抛光头的结构对加工质量的影响,分析了其结构缺陷,设计了一种新型低摆动瞬心的抛光头.它利用同心双球面滚动副结构,可以使抛光头的摆动瞬心降低到加工平面上,从而彻底消除了因摆动瞬心过高而产生的倾覆力矩对加工质量的影响,试验结果证明这种低摆动瞬心抛光头使用效果良好.

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