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低摆动瞬心式抛光头
作者:
戴智弘
来源:
机械工程师
日期: 2020-11-17
人气:126
针对典型抛光头的结构对加工质量的影响,分析了其结构缺陷,设计了一种新型低摆动瞬心的抛光头.它利用同心 双球面滚动副结构,可以使抛光头的摆动瞬心降低到加工平面上,从而彻底消除了因摆动瞬心过高而产生的倾覆力矩对加 工质量的影响,试验结果证明这种低摆动瞬心抛光头使用效果良好.
关键词:
抛光头
平面度
瞬心
CMP
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