硅片花篮跑道PVD传输系统设计

简介

硅片花篮跑道pvd传输设备是在硅片加工生产中负责硅片、花篮传输和定位的关键设备。本设计从硅片花篮跑道pvd传输设备传输效率低的问题出发,设计一种硅片花篮运输跑道pvd传输系统;针对花篮规整时的磨损的问题,研究底座载荷与气流关系。系统以SIMATIC S7-1200 PLC为控制核心,通过嵌入式一体化触摸屏实现人机交互,利用光电传感器和磁电传感器进行位置检测,完成硅片和花篮的精准定位。通过调试且实际运行,表明硅片花篮运输跑道pvd传输系统可实现自动控制,根据实验数据得出夹爪气缸载荷为216.2N,杆外径为16.3mm,缸筒内径为2.852mm。