文中采用MEMS技术加工研制了一种新型热导检测器，这种微型热导检测器采用电阻率高、电阻温度系数大的Pt热敏电阻，利用MEMS技术将Pt薄膜沉积在Pyrex7740玻璃上并通过剥离技术获得热敏电阻，而气体通道以及热导池是通过深刻蚀在硅片上刻蚀得到，热导池的体积为0．4μL.这种热导检测器具有灵敏度高，不受气流影响，不易氧化等特点，适用各种混合气体分离检测。

微全分析系统(μTAS)的研究和应用,近年来有了巨大发展.本文将着重叙述基于MEMS技术的μTAS的研究和发展,扼要介绍设计、制造μTAS的一些新技术、新材料和新方法,以及我们在研制μTAS方面的一些进展.

介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜，使用了一个主动阀和一个被动阀，并利用压电双晶片作为驱动部件。压电双晶片和PDMS泵膜的组合可以产生较大的泵腔体积改变和压缩比，显著降低了加工成本，并提高了成品率。对压电微泵的输出流量进行了测试，结果显示：电压、频率以及背压对流量均有显著影响。在100V，25Hz的方波驱动下，该压电微泵的最大输出流量为458μL／min，最大输出压力为6kPa。

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱，这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道，再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m，色谱通道截面为矩形（宽100μm，深100μm），针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验，理论塔板数达到了4800，分离时间为185s。

介绍了一种基于MEMS技术的压电微泵。该微泵利用聚二甲基硅氧烷（PDMS）作为泵膜,利用双面湿法腐蚀形成被动阀,并利用压电双晶片作为驱动部件。对压电双晶片的理论变形量和压电微泵的泵腔变化量、泵腔压缩比进行了理论分析,并对其输出流量进行了测试。在100 V、20 Hz的方波驱动下,该压电微泵的最大输出流量为317μL/min。结果显示该压电微泵的制作工艺简单,具有良好的流体驱动性能。

为解决微流体在微流控芯片上的单向流动，进而实现生化反应的片上系统，采用微机电系统（MEMS）技术加工出SU-8胶微型阀片．SU-8胶阀片具有弹性模量和弹性常数低、开启压力小、反向泄漏小、易于加工等特点．从理论上分析了不同厚度（10μm，15μm，20μm，25μm）的微型阀片在不同压力作用下的挠度和应力分布，在相同尺寸和压力下，SU-8微阀片的挠度与传统的硅阀片的挠度相比要大10倍左右．讨论了有阻尼作用下的谐振频率以及过流特性。可知阀臂和阀座的尺寸是影响阀片性能的主要因素．给出了加工工艺，测试了阀片的正反向过流性能，以水作为工作物质，得到3种厚度阀片的过流曲线，其最大正向流速达到7000μL／min．

微泵是微全分析系统中的重要单元．为解决微泵加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题，研制了两种应用于微流控系统中的压电驱动微泵．一种是将聚二甲基硅氧烷（PDMS）泵膜、单主动阀片和弹性缓冲单元集于一体的微泵，另一种是主动阀片与被动阀相结合的微泵，这两种微泵都适用于气体和液体工作物质，实现自吸，具有结构简单、易于加工及操作方便的特点．讨论了微泵的工作原理、工艺流程、工作性能及结构参数对微泵工作性能的影响，解决了加工工艺复杂、自吸困难和可靠性低等问题．在电压100V（35 Hz条件下）和零背压的工作条件下，单主动阀微泵的最大液体泵速为5000μL／min，最大背压为5 kPa；主动阀与被动阀相结合微泵的最大液体泵速5410μL／min，最大背压15kPa．后者背压与流速明显比前者的性能要好很多，尤其是背压方面．

表面等离谐振(Surface Plasmon Resonance,SPR)生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统,SPR技术作为一种表在反应的生物传感技术,具有很重要的生化分析能力,可用于无标记实时监测许多种类生物分子之间的反应.SPR生物分析技术已成为直接实时观测生物分子间相互作用的主导技术.近年来SPR传感技术受到重点研究和发展;SPR生化分析仪也已经商品化.在本文中详细介绍了自行研制的新型SPR-2000型生化分析仪,仪器的主要性能是入射角扫描范围40°～70°,测角精度优于1×10-3度,探测折射率范围1.04～1.47,温度范围4℃～60℃、检测灵敏度可达10-11M等.利用该系统实时测试了1gG-GAHIgG的动态反应过程.实验证明该分析仪精度和灵敏度高,适用范围宽,并已提供多家使用,具有比较好的商品化性能.

表面等离子谐振（Surface Plasmon Resonance，SPR）生化分析仪是一种基于物理光学原理的新型生化分析系统。近年来SPR传感技术受到重点研究和发展，高通量、高灵敏度、小型化是其发展趋势。SPR生化分析仪在国外已经商品化。国内中国科学院电子学研究所研制成功具有自主知识产权的一系列SPR生化分析仪，其主要技术指标达到或优于国际上同类设备的先进水平，已在很多研究领域中应用。

本文叙述了一种在光纤端面放置固定化pH染料指示剂的反射式光纤传感器,其探头结构是通过共价结合法把酚红、溴酚兰和百里酚兰等三种染料固定在丙烯酰胺微球上形成亲水凝胶状指示剂,用聚四氟乙烯网膜定位放置,同光纤端面间留有一定缝隙,便于指示剂与被测溶液的离子交换反应。文中给出这种光纤传感器的全部性能参数,其测试范围3.0—5.0pH(溴酚兰指示剂);7.0—8.5pH(酚红指示剂)和8.0—10.0pH(百里酚兰指示剂);灵敏度66.6mV/pH;精度优于0.05pH;相关系数达99.9%;重复性0.013mV;响应时间(90%)对酚红指示剂为2min,对百里酚兰1min;滞后为0.52%;稳定性为0.015pH/h,该器件性能优良、制造简单,具有实用价值。