微机电系统(MEMS)动态应力的瞬态特性决定了传统的应力测试系统无法直接满足它的测试需要。介绍了一种依据高频调制原理设计实现的基于拉曼光谱仪的MEMS动态应力测试系统,该测试系统是一个典型的光—机—电集成的MEMS测试系统。利用此测试系统对硅微谐振器支撑梁根部的单点进行了动态应力测试,测试结果与理论分析相吻合。实验表明,此测试系统具有高精度、非接触式、无损伤等特点,能很好地满足MEMS动态应力测试的需求。

研究车辆主动空气悬架的控制问题，在车辆主动空气悬的常规PID控制器的基础上，运用模糊推理对常规PID控制器进行参数在线修订，设计了基于单轮车辆主动空气悬架的Fuzzy-PID控制器，并对Fuzzy—PID控制的单轮车辆主动空气悬架进行Matlab建模和仿真试验。仿真结果表明，与车辆被动空气悬架、常规PID控制的车辆主动空气悬架相比，Fuzzy—PID控制的车辆主动空气悬架可大大降低车身加速度和悬架动行程，提高车辆乘坐舒适性和操纵稳定性，具有良好的鲁棒性，从而验证了Fuzzy-PID控制器的有效性和实用性。