采用静电力驱动质量块产生等效加速度信号实现了微机械加速度计的自检测功能。分析了平板驱动电极的静电驱动力、吸合电压以及稳定驱动位移条件。采用光学测试技术测试了驱动电压和驱动位移的关系,吸合电压,证实了理论分析。利用理论分析公式计算了低驱动电压情况下的驱动位移。结果表明在10～15V的直流驱动电压下能产生等效于1g加速度的输出。

本文提出了一种基于ICP刻蚀以及静电键合工艺的新型微机械加速度计结构，并通过MATLAB软件对该加速度计系统进行了仿真．这种框架结构可以有效地增大结构静态电容，以便在闭环工作时能产生更大的静电力．它的整体尺寸为2800μm×3000μm×60μm，结构惯性质量为0．14mgn，静态电容为3．618pF，抗过载能力超过5000gn．通过系统仿真，该加速度计的电压灵敏度为90mv／gn，量程为±50gn，系统带宽是10kHz．