扫描电子显微镜所成的像是由分解为近百万个的像元逐点依次记录而成的,因而使它在观察表面形貌的同时可进行成分和元素的分析。对于三透镜式扫描电子显微镜,还可以通过电子通道花样进行结晶学研究[1]。近几年,对一台八十年代初国产的BSM-25型扫描电子显微镜作了几方面的改进工作,其中包括高压纹波的减小、高亮度阴极的使用等措施[2,3],使原来15nm的极限分辨率提高到6nm左右;另外在自行研制的YWD-1A型扫描电镜上又进行了低真空条件下的高能电子反射衍射仪研究实验,成功地对一些材料的表面结构进行了分析确定[4]。近来,经过设计,在BSM-25型扫描电镜上安装并调试成功了美国TRACOR NORTHERN公司生产的X线能谱仪。由于安装位置的限制,能谱仪只能在样品处于低位时应用,为此对能谱仪的测量准确性进行了验证。

从理论与实际方面研究了获得高分辨力场发射电镜（ＦＥＭ）的条件，认为在适当的场强及温度下０．２ｎｍ的分辨力是可以达到的，这与当前认为的ＦＥＭ分辨力只能在２ｎｍ上下高一个数量级．我们称这种显微镜为高分辨力热场发射显微镜（ＨＲＴＦＥＭ）．利用这种显微镜，我们研究了Ｗ尖端上Ｚｒ原子吸附情况．这种吸附Ｚｒ的Ｗ尖端是用于Ｓｃｈｏｔｋｙ发射阴极的尖端，是由Ｗ（１００），Ｗ（１１０）及Ｗ（１１１）单晶经化学腐蚀为０．５μｍ曲率半径的尖端后再涂上Ｚｒ而制成的．从ＨＲＴＦＥＭ的结果表明，吸附在Ｗ尖端上的Ｚｒ原子表现为一些亮点，Ｗ（１１１）方向上的Ｚｒ原子有规则的排列成等腰三角形，但在Ｗ（１００）及Ｗ（１１０）方向上则没有明显吸附，因此我们认为，作为Ｓｃｈｏｔｌｋｙ阴极，Ｗ（１１...

当今电子显微学发展的一个重要趋势是电子计算机的广泛采用。这包括三个主要的方面:1)电子显微镜系统的计算机辅助设计;2)电子显微镜操作的智能化;3)电子显微样品图像、结构特征信息的分析处理。美国芝加哥大学的Crewe教授和日本大板大学的桥本教授都在他们的原子分辨本领的电子显微镜中使用了图像处理设备，并取得令人满意的结果。