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环形子孔径拼接算法的精度影响因素分析

作者: 侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强 来源:光电工程 日期: 2024-05-10 人气:14
环形子孔径拼接算法的精度影响因素分析
优化的拼接算法是环形子孔径扫描测量大口径非球面光学元件的关键问题.针对一种基于离散相位值的环形子孔径拼接算法,从精度评定判据入手,对随机噪声、高阶噪声、重叠区宽度及子孔径数目这几个主要影响因素进行了数值仿真分析.结果表明,该算法对高阶噪声和随机噪声均不灵敏,高阶噪声的影响略大于随机噪声的影响;对口径和相对口径较大的非球面,相邻子孔径间重叠系数应大于0.15,对于非球面度不大的非球面,重叠系数可大于0.25, 能以较高精度求得拼接参量.

使用环形子孔径拼接检测大口径非球面镜

作者: 侯溪 伍凡 吴时彬 陈强 来源:安徽建筑 日期: 2024-03-27 人气:9
使用环形子孔径拼接检测大口径非球面镜
针对高精度大口径非球面镜通常存在定量检验方法(补偿器法、全息法、自准直法)所需要的辅助元件制造困难、成本高这两个主要难点,利用不同曲率半径的参考球面波前来匹配被测非球面表面不同的环带区域,使它们之间的偏离量减小到在小口径干涉仪的测量范围内,每次测量仅是被测表面的一部分,通过算法'拼接'可得到全孔径的面形信息.给出了其拼接数学模型、参量求解方法及其精度评定判据.仿真分析表明,该技术是切实可行的,算法具有较高的拼接精度.该方法无需辅助光学元件就可实现对大口径、大相对口径非球面的直接测量,且具有很宽的适用范围.

环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析

作者: 侯溪 伍凡 杨力 吴时彬 陈强 来源:光学精密工程 日期: 2024-01-23 人气:17
环形子孔径拼接检测大口径非球面镜的规划模型及分析
环形子孔径拼接技术是一种无需辅助元件就能检测旋转对称大口径非球面镜的有效手段。根据该技术的检测原理,从几何光学的角度建立了子孔径规划模型,给出了模型数值求解的具体方法。以一口径为700mm、中心遮拦为160mm、顶点曲率半径为3000mm的抛物面镜为例进行了数值计算,且从物理光学的角度对数值计算结果进行了进一步分析和解释,并进行了初步的实验研究。结果表明,该模型具有较好的预测效果,可为实际检测方案设计提供理论依据,使得检测过程可控、量化和可重复。

稀疏子孔径采样检测大口径光学器件

作者: 闫锋涛 范斌 侯溪 伍凡 来源:强激光与粒子束 日期: 2023-04-14 人气:3
稀疏子孔径采样检测大口径光学器件
针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率。

子孔径拼接干涉检测大口径平面波前

作者: 汪利华 吴时彬 侯溪 匡龙 曹学东 来源:光电工程 日期: 2023-03-06 人气:1
子孔径拼接干涉检测大口径平面波前
介绍了子孔径拼接检测平面波前的基本原理,提出了基于均化误差和最小二乘法的多个子孔径同时拼接的数据处理方法,有效减小了误差传递和积累。用该方法对Zemax仿真的望远镜光学系统进行了子孔径拼接检测,拼接光学系统波前和直接用Zemax得到的全孔径波前对比,其峰谷值(PV)和均方根(RMS)的偏差分别为0.0151兄和0.00162,。并用121径为100mm的小口径干涉仪对口径为200mm的平面镜进行了拼接实验,将其全孔径波前与直接检测的结果对比,其峰谷值旷功和均方根(RMS)的偏差分别为0.0559五和0.0004λ。实验结果表明了该算法的有效性,该方法不仅适用于检测光学元件,也适用于对光学系统平面波前检测。

基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型

作者: 杨鹏 伍凡 侯溪 吴高峰 来源:光电工程 日期: 2023-03-02 人气:6867
基于ZEMAX的Fizeau干涉仪模型
Fizeau干涉仪由于具有参考光与测试光共光程的优点成为多数干涉仪采用的结构形式,对于干涉仪的结构及其影响因素在理论上已进行了较广泛的研究。但如何对Fizeau干涉仪进行仿真是干涉仪检测所面临的问题。本文首先简要介绍Fizeau干涉仪及相位解包裹的基本原理并利用Matlab编写了基于矩形域的解包裹程序。然后利用Zemax光学设计软件建立起Fizeau干涉仪通用模型,利用四步相移法对干涉仪的面形检测进行仿真并利用编写的解包裹程序计算出待测面的面形。仿真面形检测结果与真实情况一致表明Fizeau干涉仪通用模型能较好的对实际干涉仪面形检测进行仿真。
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