介绍了利用光场控制中性原子束制作微细图形的基本原理.针对具体的实验系统,设计并建立了一套用于高真空系统中原子光刻样品的CCD显微观察装置,该装置以CCD相机实时采样通过计算机自动图像处理直接显示和输出样品的微结构信息.与传统装置相比,该装置在实验初期摸索实验工艺参数方面具有非常重要的作用.

分析了大型光电跟踪监测望远镜核心部件 ICCD及宽视场电视测量系统畸变的测量方法和测量装置 ,给出了其中一台系统畸变测量的结果 ,并分析了影响系统畸变测量精度的因素。

线性光学系统的光学传递函数可由线扩散函数的傅里叶变换求出。研究了用电荷耦合器件测量亚微米投影光刻物镜的ＭＴＦ值的系统，用ＣＣＤ作为光电转换器件，对ＣＣＤ接收到的ＬＦＳ的光强信号进行视频放大，采样，用数字存储示波器可方便地测得系统的ＭＴＦ值。