采用Algor软件包并利用有限元法对37单元能动反射镜低频误差补偿能力进行了分析计算,确定了镜面厚度8mm,驱动器间距46mm,极头直径12mm等能动反射镜制造的关键参数.通过计算机仿真分析证明,基于这些参数所设计的能动反射镜可以对低频误差进行有效校正,校正精度的均方根值小于等于λ/8,从而可以为能动反射镜的制造提供理论依据.

为了减小中心偏对光学仪器质量的影响,研制了一种利用平面止推轴系为基础的高精度定心仪.该定心仪测量精度角晃动≤2″,转台主轴径向晃动≤1μm.利用该仪器对多组准直物镜进行了装调和中心偏测量,取得了较为满意的结果.在WYKO数字干涉仪上对装调好的准直物镜的光学性能进行了检测,测得波面误差的峰谷值(PV)为0.143λ,均方根误差为(1/50)λ,斯特列尔比(Strehl)已达到98%.检测结果表明,利用该仪器装调的准直物镜可以达到很高的精度.