本文比较系统全面地介绍了ＩＲＭ Ｘ－Ｒａｙ测厚仪的系统结构、测量原理、测量信号在ＳＳＴＲＩＯ处理器中的处理过程，特别分析了Ｘ－Ｒａｙ源和电离室的特性，ＳＳＴＲＩＯ的处理功能，并给出了计算厚度的方法、公式及合金补偿和温度补偿的方法。