显影单元腔室内流场结构分析与优化
匀胶显影设备中温湿度控制器(THS)为单元提供温度和湿度适宜的洁净空气,为保证单元内产生的颗粒不污染晶片,在单元中将空气流动设计成DownFlow形式,这样能带走单元腔室中的灰尘颗粒,有利于防止晶片的颗粒污染。由于显影单元的内部结构复杂,无法直接测量单元内部实际工作条件下的气流状态。文中采用数值模拟分析的方法对显影单元内部进行流场仿真分析,根据分析结果对结构进行优化,以达到更理想的腔室内气体流动状态,可以节约修改结构和复杂测试所消耗的时间和成本,缩短设计周期。
引入节能技术的有轨锻造操作机液压系统改造
简要介绍有轨锻造操作机的功能,针对它在使用中出现的问题,分析其原因。提出具有节能特点的优化液压系统改造方案。改造后的液压系统在实际使用中达到了很好的效果,为相关类产品设计提供了参考。
150t矿渣车翻转机液压系统
以液压动力可升降平板车为基础,设计150t矿渣车的运输方案。针对运输车自身的结构特点及运输物料的特殊性设计埋地式的翻转机作为卸货装置,在详细分析翻转机主要动作的基础上介绍了其配套液压系统的组成和工作原理。现场应用证明:此设计结构合理、安全可靠,拓宽了平板运输车的功能。
-
共1页/3条





