基于MEMS的钟表惯性延时机构仿真分析
研究引信微机电安全系统的钟表惯性延时机构的原理结构和运动模型,对钟表惯性延时机构在发射后凭借外部激励产生的运动和动态特性进行模拟仿真分析.给出了微惯性延时机构的运动规律和机构设计需要考虑的相关因素.
S型折叠式微悬臂梁刚度仿真与测试
为弥补现有测试微悬臂梁刚度方法中存在的不足,采用准LIGA工艺加工了一种S型折叠式微悬臂梁,对其x向和y向的刚度进行了仿真;采用自行设计并制作的刚度测试系统对该微悬臂梁进行了测试,测试结果与仿真结果的相对误差低于2%。研究结果表明:利用所设计的测试系统测试微悬臂梁刚度具有较高的准确性,为微悬臂梁进一步的优化设计和工艺改进提供了一种有效的分析手段。
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