为了提高亚像素边缘定位精度，减小定位误差，提出了一种改进的canny边缘检测算子用来检测图像的像素级边缘，之后基于改进的canny算子粗定位的边缘点，采用高斯拟合亚像素方法找出图像的亚像素边缘点位置。针对微小的圆形零件进行图像采集及图像处理，通过matlab实验仿真将该方法与传统的canny算子相比较，发现误定位明显减少，在保留边缘信息的同时有效的提高了边缘定位的精度，得到更准确的圆心位置及半径长度。结果表明是一种有效的边缘检测定位算法，具有一定的实用意义。