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一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计

作者: 张国军 陈尚 薛晨阳 乔慧 张开锐 来源:仪器仪表学报 日期: 2024-07-09 人气:17
一种新型的压阻式硅微二维加速度计的设计
以压阻检测技术为基础并结合硅微MEMS加工技术设计了一种二维加速度计微结构,期望利用该新型的结构提高加速度计的灵敏度,实现二维方向的加速度检测。该加速度计采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间有刚硬柱体的结构,通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量水平面内两个方向的加速度。建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件ANSYS对敏感弹性元件进行分析。最后对加工出的加速度计进行了相关的测试。测试结果表明:该加速度计水平面内两个方向的灵敏度高、线形度较好,X向灵敏度为0.7552mv/g,线性度为0.99967,Y向灵敏度为0.6833mv/g,线性度为0.99966。

硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究

作者: 陈尚 薛晨阳 张斌珍 张国军 乔慧 张开锐 来源:哈尔滨工程大学学报 日期: 2024-07-05 人气:7
硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究
针对目前矢量水声传感器存在的高灵敏度、低频检测以及小型化等问题,提出了一种新型的硅微MEMS矢量水声传感器。利用敏感材料的压阻效应、传感器精巧的微结构以及硅微MEMS技术,实现矢量水声传感器的低频特性和小型化的可行性。以声场中的刚硬圆柱在声波作用下的声散射问题作为切入点,对传感器的同振原理进行分析,并基于该机理以及传感器的特殊结构,提出采用注入蓖麻油的方法实现微结构的柱体与所处介质质点同振。分别采用振动台标定和驻波场测量的方法完成了传感器的灵敏度、频响以及指向性的测试,最后对2种测试结果进行了分析和比较。研究结果表明:所研制的水声传感器具有较低的工作频率,其水下自由场声压灵敏度值为-207.6dB(0 dB=1V/μPa,测试频率为200Hz),指向性网的零点深度为50.9dB。

一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计

作者: 乔慧 刘俊 张斌珍 张文栋 熊继军 薛晨阳 来源:传感技术学报 日期: 2024-07-02 人气:7
一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计
介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析,采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试,并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线,以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法,不仅验证了该矢量水听器设计的合理性,而且验证了它适用于低频检测,应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明,该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB(0dB=1V/μPa),并具有良好的“8”字形的指向性。

工业机器人抓手气缸状态及动作时间分析

作者: 胡觉醒 乔慧 孟令丰 来源:汽车实用技术 日期: 2022-01-05 人气:82
工业机器人抓手气缸状态及动作时间分析
文章对工业机器人抓手气缸状态及气缸动作时间提供了一种新的展示方法。将借助于西门子功能块,以输入/输出通讯方式时时显示工业机器人抓手气缸状态,以故障代码的编码规则定义抓手气缸异常信息代替输入/输出信号点显示工业机器人抓手气缸的异常情况。此方法可实现可编程控制器对工业机器人抓手气缸状态和动作时间的监控和显示,达到真正的互联互通功能,可降低抓手气缸异常排查时间,预测性维护异常气缸,提高工作效率。
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