在MEMS执行器的设计中,求出准确的pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,在准静态假设下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型已经被提出,并且还提出了一些拓宽微执行器稳定行程的方法。在动态条件下,电压控制的MEMS微执行器的pull-in模型也已经被提出。但是,还没有人研究如何提高微执行器动态稳定行程。采用串联电容的方法来拓宽MEMS执行器的动态稳定行程,提出了串联电容后的动态pull-in模型。最后,采用数值解法模拟了串联电容后的动态pull-in现象,并同时考虑了阻尼的影响。

以内框驱动式双框架硅微型角振动机械陀螺仪为对象,建立了闭环力平衡控制模型,采用鲁棒H∞控制理论中的混合灵敏度法设计了鲁棒控制器.仿真结果表明,同开环微机械陀螺相比,通过合理选择加权函数设计出的鲁棒H∞控制器能使微机械陀螺对敏感轴固有频率摄动敏感性显著降低,微机械陀螺鲁棒性能显著提高.