四极质谱计是一种很有用的残气分析工具, 一般情况下它只能分析残气成分, 本文给出通过四极质谱谱图对比定性分析残气成分的实例.

扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是一种可以在实空间观察到原子级分辨率图像的实验仪器，且发展出许多衍生仪器，如原子力显微镜（ＡＦＭ）、扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）等，统称为扫描探针显微镜（ＳＰＭ）。但是以往人多数ＳＴＭ是在室温条件下工作的，不能实时观察样品随温度变化的情况。本文介绍德国Ｏｍｉｃｒｏｎ公司新开发的变温超高真空扫描探针显微镜（ＶＴ ＵＨＶ ＳＰＭ），它包括ＳＴＭ和ＡＦＭ两部分，可以在２５Ｋ～１

研制了一台集低能电子点源显微镜和场发射显微镜于一体的设备。研制的过程中，解决了包括超高真空的获得，外界振动的隔离，爬行器及其控制电路的设计，场发射电流-电压自动测量，超高真空换样等一系列问题。利用该设备，获得了放大倍数大于10^4的投影像，并且测量了单根多壁碳纳米管的场发射特性。