信号处理电路及反馈控制电路能极大的提高隧道加速度计的灵敏度和分辨率，但工作在闭环状态存在明显的零点漂移，需要进一步在结构设计和电路设计上进行改进。在分析静电驱动力和反馈力的基础上，提出了一种动态补偿零点漂移的方法，它通过拟舍其零点漂移趋势来调整反馈电路的反馈参数。此方法相对简单，且能有效改善漂移现象，不致于输出饱和，使其能长时间工作。

为提高硅微隧道式加速度计的灵敏度,必须设计出高灵敏度的输出和反馈控制电路。在电路设计中,通过采用行之有效的措施来降低噪声和干扰可达到提高灵敏度的目的,如：将隧道式加速度计敏感单元的参考地设置为同一的大地;采用能抑制隧道式加速度计敏感单元和半导体器件所产生的1/f噪声的低噪声运算放大器;在电压信号放大过程中,尽量抑制干扰和噪声;且在电压反馈电路设计中,保护敏感单元不受损坏等措施。测试结果为标定因数1.2659V/g,其非线性度小于1%,可见在提高线性度的基础上也提高了灵敏度。

设计了电容式加速度计的信号检测电路，与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试，并进行了标定。为减小体积，提高电容式加速度计的检测精度，采用厚膜混合集成工艺，将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体，并进行了电路测试和性能测试。测试数据表明，其测试精度提高了一个数量级，线性度和温度特性均有很大的改善。