电容式加速度计（Ｋ－ＢＥＡＭ）具有与笨重粗大且较昂贵的伺服式加速度计相近的测量能力，并有体积极很小，重量极轻的优点。某些电容式加速度计可以小到直接装在印刷电路板上。