加速度是矢量，所以在测量加速度大小的同时，给出加速度的方向是非常必要的。但传统SAW加速度计设计忽视了对被测加速度方向的判断问题。声表面波滤波器（SAWF）是一种性能优良的新型电子器件，本文基于SAW滤波器的带通滤波性质，设计了一种新的SAW加速度计系统，它不仅实现了判断加速度方向的客观需求，而且为加速度计基本量程的扩大创造了条件。

提出了用声表面波滤波器测知加速度方向和大小的原理和方法，研究了电容器中的静电吸引力对加速度计敏感质量块的位置稳定作用，以及用它扩大悬臂梁式加速度计量程的原理。还对静电力扩程之后，加速度计测量值的校准、计量标定等问题进行了有益地探讨，针对电容器静电力的非线性扩程特点，提出了查询表式的在线实时测量换算读值方案。

加速度计设计的传统思路是设法利用好阻尼使悬臂梁尽快进入稳定状态,实现加速度的准确测量.然而,由于阻尼问题的复杂性和时变性,实际声表面波(SAW)加速度计的悬臂梁在外施待测加速度的作用下,常常会出现短暂位移振荡,进而引起声表面波谐振器(SAWR)谐振频率的振荡变化.本文分析了悬臂梁式SAW加速度计在高敏感、欠阻尼工况下SAWR信号的动态特征,提出了一种实时性较强的待测加速度值测量方案,并对该测量方案进行了必要的误差分析.

分析了温度漂移对声表面波谐振器(SAWR)及其声表面波振荡器(SAWO)频率特性、以及对SAW加速度计测量准确性的影响,探讨了提高SAW加速度计测量准确度的方法,提出了一种基于浮动零点原理抑制温度共模干扰的双对SAWR加速度计设计方案.本方案不仅通过设置浮动零点SAWR抑制了SAWO频率-温度漂移对SAW加速度计测量准确度的干扰,还在一定程度上降低了对SAWR表面制造工艺的要求.