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非球面光学元件面形检测方法
作者:
贾世奎
李成贵
杨辉
张庆荣
来源:
上海计量测试
日期: 2023-02-21
人气:6
随着科技的发展,尖端产品和现代化武器对光学元件质量要求越来越高,非球面光学元件因性能优良而应用越来越广泛,需求越来越迫切,非球面元件面形检测也成为研究者的工作重点,该文着重阐述现有的非球面光学元件面形检测方法,介绍各种方法的检测原理,并给出了各种方法的优缺点。
关键词:
光学
非球面
测量
检测方法
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