微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视化.介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用来测量可动MEMS器件的离面运动,实现了纳米级分辨力.该系统采用改进的相移干涉算法,使用一个大功率激光二极管(LD)作为频闪照明的光源,可以实现1 MHz范围内大幅值(十几微米)的微运动测量.这种高离面灵敏度的测量方法特别适合进行微机械(光学)元件的动态特性测量.通过研究一个多晶硅微谐振器的动态特性说明了系统的强大功能.

针对WDP500-2A平面光栅单色仪在不同电流下测试大功率激光二极管的发射波长时,匹配激光二极管的自动化程度不高、效率低以及分析界面不友好等缺点.采用自制的RS232串口通讯接口卡,并运用美国M公司的虚拟仪器编程语言LabWindows/CVI开发分析软件,实现了单色仪的自动定位、扫描、数据分析、数据处理等功能.该光谱分析系统运行良好,提高了测试效率.