本文叙述了气相沉积中使用电阻真空计遇到一些问题及解决的方法。

文中介绍了硅微机械谐振真空传感器的特点及配套研制的真空计。利用恒定振幅不测控电路方式，使整机具有良好的灵敏度和可靠性。真空度测量范围接近１０＾２－１０＾－１Ｐａ，测量响应速度为十几毫秒。

标样气体进样系统用于质谱计的标样气体校准,以获得准确的测量数据.介绍了标样气体进样系统的结构、工作原理及进样方法,给出了标样气体配置的不确定度分析和测试结果.

介绍基于ＣＡＮ总线的合肥国家同步辐射实验室光束线及储存环真空监控系统设计和用于监控带有ＣＡＮ总线接口的两种类型超高真空计（热阴极电离真空计和冷阴极磁控真空计）及其联锁保护单元。多个真空计及其联锁保护单元通过ＣＡＮ的控制器挂到ＣＡＮ ＢＵＳ上，通过ＣＡＮ ＢＵＳ与监控计算机互联，形成多主机局部控制网。ＣＡＮ ＢＵＳ的固有特点和实际应用将大大提高储存环及光束线真空监测和联锁保护的可靠性及实时性。