本文对计量光栅制造工艺中，易引起均匀性误差的主要因素进行了分析讨论，并提出了相应控制措施。

根据光栅的透射特性和曝光及显影机理,对码盘、圆光栅线条的黑白比以及曝光量和其均匀性误差之间的内在关系进行了分析,并给出了保持曝光量均匀的措施,实验证明,改进后刻制出的码盘、圆光栅的均匀性误差较小。

标准厚度片是用于检定涂层测厚仪示值误差和示值变动性或校准涂层测厚仪的厚度标准器。标准厚度片厚度范围一般在 5～ 12 0 0 μｍ内大小不等。1　校准项目和校准条件1 1　校准项目和主要校准器具表 1　校准项目和主要校准器具序号校准项目主要标准器具校准类别新购使用中修理后1外观——— +++2有效面积钢直尺 +- -3厚度误差三级量块、立式光学计 +++4均匀性误差三级量块、立式光学计 +++　　备注 :“ +”表示必检 ,“ -”表示可不检。1 2　校准条件①检测室内温度 :2 0℃± 2℃ ,厚度片与量块温度平衡时间 :2ｈ ;检测室内湿度 :≤ 65 %。②立式光学计预热时间 :不少于 15ｍｉｎ。③仪器所用电源 :2 2 0 (1± 10 % )Ｖ ,5 0Ｈｚ。2　校准要求和校准方法2 1　外观①要求 :厚度片两表面应无划痕、凹凸点等缺陷。②校准方法 :目测观察。2 2　有效面积①要求 :不均...