微执行器在整个微机电系统中直接面对其应用对象，需要满足定位精度高，稳定性好，响应速度快，控制方便的要求,柔性铰链以其特殊的性能广泛应用于操作执行器的设计应用中．以一种基于柔性铰链的电热驱动微夹钳为研究对象，通过实验和ANSYS有限元仿真分析对微夹钳的机械性能进行了分析，发现微夹钳端部的输出位移与输入电压基本呈线形关系．通过仿真分析探讨了柔性铰链结构尺寸变化对微夹钳性能的的影响．