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激光光束质量M2因子测量系统的设计

作者: 王彩霞 来源:自动化仪表 日期: 2023-11-23 人气:8
激光光束质量M2因子测量系统的设计
为了实现对激光器发射激光光束质量的自动化测量,提出了一种激光光束质量M2因子测量系统。该系统选择混合式步进电机作为执行机构来确定多个采样位置;同时系统采用面阵电荷耦合器件(CCD)多点探测激光光斑的图像信息,实时计算不同采样位置激光光斑的质心和光强,并根据M2因子理论计算出激光光束的束腰宽度和束散角等参数,最后由上位机显示激光光斑的二维/三维光强分布及处理结果。实验结果表明,系统能够对400~1 100 nm连续激光器发射激光光束质量进行自动化测量,测量精度达±6%,测量时间小于3 min。
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