采用光纤探针的扫描近场光学显微镜（ＳＮＯＭ）存在某些弱点，如探针特别脆，不易贴近样品表面扫描，探针的转输效率低等。近年来发展了将ＳＦＭ／ＳＮＯＭ结合起来的扫描探测显微镜。利用微加工工艺技术，将小孔集成在悬臂探针中，使探针既能批量制备，又具有很好的重复性。探针悬臂在垂直于样品表面方向上的弹性常数较小，针尖不易损坏。在接触模式中利用这种ＳＦＭ／ＳＮＯＭ组合探针可将样品的形貌像、摩擦力和光学透射像等信息