基于QCM的气体传感器具有灵敏度高、结构简单等优点，是有潜力的气体传感器。但是，存在着选择性差的问题，而工作过程环境气体因素，如水蒸汽、有机挥发性气体（VOCs）等的影响，是必须解决的问题。首先，以石英晶体微天平传感器（QCM）为测试平台，研究以纳米ZnO作为敏感膜的湿度检测敏感特性。实验结果表明：纳米氧化锌作为敏感膜，在一定的湿度范围内有很高的灵敏度和重复性。其次，用六甲基二硅胺烷（Hexamethyl disilazane，HMDS）对纳米ZnO膜进行处理时发现，与未用HMDS处理的纳米ZnO膜相比较，该纳米ZnO对湿度的响应敏感度明显降低，特别是在高湿度时。进一步的研究发现，用HMDS处理后的纳米ZnO膜对有机气体，如乙醇仍有很好的响应。该种特性可以被用来开发对水蒸汽具有抗干扰能力的气体传感器。