薄膜油缸是数控齿轮机床工件主轴夹紧系统的关键部件,具有结构简单、夹紧刚度高、响应速度快的特点,大大提高了机床的加工效率和加工精度。但由于要求夹紧长度短、工作载荷为循环载荷,对其结构和性能有特殊的要求,本文通过对薄膜油缸热处理工艺及有限元分析和试验测量,对其结构设计提供方法和依据,对类似部件具有一定的参考价值。